有研亿金新材料集成电路用高纯溅射靶材项目正式通线量产

据德州天衢新区消息，9月20日，有研亿金集成电路用高纯溅射靶材项目投产仪式举行，标志着该项目正式通线量产。

该项目总投资约6亿元，占地140亩，建设高标准厂房5万平方米，年产高纯溅射靶材43000块，达产后预计年销售收入9亿元。

有研亿金（山东）新材料有限公司集成电路用高纯溅射靶材生产项目基建负责李凯此前表示，项目建成后，将为国内芯片制造企业提供优质定制化服务及配套保障，提升我国集成电路关键配套材料自主可控能力，解决集成电路关键材料“卡脖子”问题。满足集成电路7-28纳米先进制程芯片的需求，实现国产替代，保持高端靶材产品国内市场占有率领先地位。

官网显示，有研亿金成立于2000年，现为有研新材料股份有限公司全资子公司，主要研发、生产和销售集成电路用超高纯金属靶材、稀贵金属功能材料和铂族金属业务。

在高纯金属靶材方面，有研亿金突破从高纯原材料提纯到集成电路领域全尺寸、全品类溅射靶材制备等50余项关键制备技术，产品性能达到国际先进水平；开发出超高纯铝及铝合金、铜及铜合金、钛、钴、镍及镍合金、钽、金、银、铂、钨及钨合金等超百款靶材，满足7～130纳米制程逻辑、存储等高端集成电路制造及先进封装；建成集成电路用高端靶材制备综合化、垂直一体化完整产业链，拥有20000平方米的生产基地。

在装备方面，有研亿金拥有大批先进的靶材加工和性能检测设备，如真空感应熔炼炉、2000吨油压机、200吨真空热压炉、轧机、热处理炉、数控加工中心、水切割机、钎焊台、XRD、ICP-MS、金相显微镜、透磁率检测仪等。